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선형 모터는 볼 스크류 구동 선형 모듈보다 깨끗한 실에 더 적합합니다. 많은 프론트 엔드 반도체 응용 프로그램은 선형 모터를 사용합니다. 웨이퍼 제조 플랜트에서, 고정밀 리소그래피 기계는 클래스 10 클리닝 룸에 배치되며, 선형 모터는 나노 미크론 해상도를 사용하는 XY 포지셔닝 플랫폼에 적용됩니다.
선형 모터는 다른 필드, 반도체의 백엔드 포장, 하드 디스크 및 기타 애플리케이션의 테스트 및 테스트에도 사용됩니다. 클린 룸에서는 전통적인 볼 스크류 드라이브와 비교하여 선형 모터의 구동 메커니즘이 직접 접촉이 없기 때문에 마모가 없어 입자 생성이 발생하여 선형 모터는 깨끗한 실에 적합합니다.
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